Назва інструменту: повністю автоматичний іонний розпилювач Модель: ETD-800

Принцип: диодний постійний струм розпилювання

Назва інструменту: Іонний розпилювач Модель: ETD-900M

Принцип: магнетронне розпилювання

У магнетронному розпилюванні, оскільки рухові електрони піддаються силі Лоренца в магнітному полі, їх рухові траекторії вигинаються або навіть виробляються.

Сіровий спиральний рух, його шлях руху збільшується, тим самим збільшуючи кількість зіткнень з молекулами робочого газу, що збільшує щільність плазми, таким чином, швидкість розпилювання магнетрону значно збільшується, і може працювати при нижчому напругі розпилювання та тиску повітря. Тим часом електрони, які втрачають енергію після багатьох зіткнень, коли досягають аноду, перетворюються на електрони з низькою енергією, щоб не перегрівати основу.

Параметри ETD-800:

Специфікації хоста: 260 мм × 307 мм × 260 мм (Ш × Г × В)

Специфікації живлення: 220V / 50Hz

Мішень (верхній електрод): 50 мм × 0,1 мм (D × H)

Мішень: Au

Вакуумна камера зразка: Борсілікатне скло 115 мм х 100 мм (D х В)

Таймер: Zui Тривалість: 3600S

Механічний насос: 1L/S

Висока напруга: -1200 DCV

Параметри ETD-900M:

Специфікації хоста: 300 мм × 360 мм × 380 мм (Ш × Г × В)

Мішень (верхній електрод): 50 мм × 0,1 мм (D × H)

Мішень: Au (стандартна)

Зразок кімнати: Борсілікатне скло 160 мм × 120 мм (D × H)

Розмір цілі: Ф 50мм

真空指示表： zui 高真空度： ≤ 4X10-2 мбар

Іонний лічильник струму: Zui Великий струм: 50mA

Таймер: Zui Тривалість: 0-360S

Мікровакуумний газовий клапан: з'єднується φ 3 мм шланг

Доступні гази: різні

Висока напруга: -1600 DCV

Механічний насос: стандартна конфігурація 2L/S (вітчизняний VRD-8)

Особливості та використання:

Застосування ETD-800:

Підготовка зразків за допомогою сканувального електронного мікроскопу (SEM) для електроскопічних лабораторій.

Особливості:

Покриття тонких частинок можна досягти замінивши різні цілі (золото, платина, срібло тощо).

Операція одним кліком, зручність використання.

Застосування ETD-900M:

Підготовка зразків за допомогою сканувального електронного мікроскопу (SEM) для електроскопічних лабораторій, експериментальне виробництво електродів з непроводних матеріалів.

Особливості:

1, простий, економічний, надійний, красивий вигляд.

2, регулюється струм розпилювання та тиск вакуумної камери для контролю швидкості покриття та розміру частинок.

Кнопка ручного запуску SETPLASMA може заздалегідь налаштувати тиск та струм розпилювання, щоб уникнути непотрібного пошкодження мембрани.

Вакуумний захист може уникнути занадто низького вакууму, що викликає коротке замикання обладнання.

Також можна замінити різні цілі (золото, платина, ірідій, срібло, мідь тощо), щоб досягти покриття більш тонких частинок.

Досягнення більш чистого покриття шляхом проникнення різних інертних газів.