1Технічні характеристики

lВисокомасштабний двоокий двозорчий мікроскоп і22Дюймовий широкоекранний LCD дисплей спостерігає за процесом вирівнювання і забезпечуєUSBекспорту; Висока точність вирівнювання, виявлення результатів експозиції та зручне зберігання

lВикористовуючи зворотне освітлення, заміна ртутних ламп є більш зручною, кращий ефект охолодження та витоку світла

lРобота двостанцій вирівнювання та експозиції, автоматичне перемикання двостанцій

lВикористання вбудованого комп'ютера+Сенсорний екран, зручніша робота, більш стильна

lПереклад і версія дуже зручні, високий рівень автоматизації, проста робота. Наукові дослідження в університетах (хороша надійність, зручна демонстрація) та заводи(Висока ефективність)Особливо підходить

2Технічні параметри

lПлоща експозиції:100mm×100mm(Можна оновити до6дюймів)

lДовжина хвилі експозиції:365nm

lРозвільна здатність:≤1mm(Товщина клею1.5 mmпрямий клей)

lТочність вирівнювання:±0.6mm

lДіапазон руху мікроскопічного сканувального столу:X：10mm;Y:10mm

lРозмір маски:2.5дюймів,3дюймів,4дюймів,5дюймів

lРозмір зразка: діаметрf15mm--f100mm(різні нерегулярні фільми)

товщина0.1mm--6mm

lСпосіб експозиції: таймінг (режим відліку часу) та визначена доза

lЕкспозиція вакуумного контакту, жорсткий контактСвітло4 функції контакту з тиском та близької експозиції

lНерівномірність освітлення: 3%（f100mmдіапазон)

lМікроскоп двозору двозорого поля вирівняння: або через окуляривізуальнийВирішення, також можна пройтиCCD+Вирівнення монітора, оптичне зображення, оптичний максимальний множник400Час, оптика+Електронне збільшення800в рази

Три об'єкти:4вдвічі,10вдвічі,20в рази

Три окуляри:10вдвічі,16вдвічі,20в рази

lРегулювання контактного тиску забезпечує повторення через датчик

lЦифрові налаштування вирівнювання проміжок і проміжок

lМодульний інтерфейс друку, а також близький до модульного інтерфейсу

lМаска відносно руху проби:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6?

lМаксимальна товщина фокусу:400mm（SU8клей, користувач надає умови виявлення)

lПаралельність джерела світла:3?

lЕнергічна щільність експозиції:>25mW/cm2,Температура освітлення<35?C

lОдношарова експозиція завершена одним кліком

lВикористання кулі+Три нігті знаходять

lСила ртутних ламп:350W(прямий струм,Імпорт）

3Розміри:1400mm(довго)?900mm(Ширина)?1500mm(Високий)

4. Конфігурація

（1(Експозиція голови)

lЕліскоп холодного світла

l350WІмпорт високотискових ртутних ламп постійного струму(Osram Німеччина)

lXYZРегулятор ртутного світла

lВентилятор охолодження

lОптичні системи: фіксована світлова панель, змінна світлова панель, затвор, пряме дзеркало1Пряме дзеркало2Група лінз (79лінзи),iЛінійні фільтри, поліві дзеркала, відбивки холодного світла1Дзеркало відображення2

（2(вирівняння робочої станції)

lПідстановка для гравірування

lСтанція перемикання (циліндр)

lМаска проби цілий спортивний стіл

lМаска проби відносно спортивний стіл

lПоворотний стіл

lОрганізація вирівнювання зразків,3 Автоматичне завершення

lМеханізм фокусування проби, автоматична регуляція двигуна

lМеханізм з витягуванням підстави

lСтудія4Один:f15mm 、f40mm、f60mm、f100mm(може збільшитися за вимогою користувача)

lМаска4Один:2.5дюймів,3дюймів,4дюймів,5Дюйми (може бути збільшено або зменшено за вимогою користувача)

lМіханізм витягу зразків

（3(Мікроскоп орієнтування)

lджерело світла, живлення

lМікроскоп двозорого поля вирівняння суб'єкта

lОкуляри3Так (10вдвічі,16вдвічі,20в рази, всього6один)

lоб'єкт3Так (4вдвічі,10вдвічі,20в рази, всього6один)

lCCDсистеми орієнтування,22Дюймовий рідкокристалічний дисплей

（4Система електронного управління

lЛімпа ртуті запускає живлення(350WЛімпа ртуті постійного струму)

lСистема управління

lПанель управління

lКонтрольний стіл

（5пневматичні системи

lЦіліндри, електромагнітні клапани, клапани зниження тиску, пневматичні вимикачі тощо

lПривод електромагнітного клапана

lПневматичні прилади

（6Інші додатки

lВакуумний насос 1

lПовітряний компресор 1

lПідтримки інтерфейсу

（7Технічна інформація

lІнструкція з використання ремонту

lСертифікат перевірки продукції