Технічні характеристики глибокої ультрафіолетової літографії типу URE-2000/17:
Вирішення за допомогою двооких двозорих мікроскопів; Кулькова чаша, регулювання машини, сенсорний вимикач, зручна робота, сильна практичність.

1Технічні параметри

lПлоща експозиції:4дюймів

lДовжина хвилі експозиції:365nm

lРозвільна здатність:1.5mm(Товщина клею2 mmпрямий клей)

lТочність вирівнювання:±1mm

lЗагальний діапазон руху маски:X：15mm;Y:15mm

lРозмір маски:2.5дюймів,3дюймів,4дюймів,5дюймів

lРозмір зразка: діаметрf15mm--f100mm

товщина0.1mm--6mm(Розширюється до15mm)

lСпосіб експозиції: таймінг (режим відліку часу) та визначена доза

lНерівномірність освітлення: 5%（f100mmдіапазон)

lМікроскоп двозору двозорого поля вирівняння: або через окуляривізуальнийВирішення, також можна пройтиCCD+Вирівнення монітора, оптичне зображення, оптичний максимальний множник400Час, оптика+Електронне збільшення800в рази

Три об'єкти:4вдвічі,10вдвічі,20в рази

Три окуляри:10вдвічі,16вдвічі,20в рази

lМаска відносно руху проби:

X:±5mm; Y:±5mm;q:±6ступінь

lСила ртутних ламп:200W(постійний струм)

lЕнергічна щільність експозиції:6mW/cm

2Розміри:650mm(довго)?600mm(Ширина)?900mm(Високий)

3. Конфігурація

（1(Експозиція голови)

l200WІмпорт високотискових ртутних ламп постійного струму(Osram Німеччина)

lXYZРегулятор ртутного світла

lОптичні системи

lВентилятор охолодження

（2(вирівняння робочої станції)

lМаска проби цілий спортивний стіл

lМаска проби відносно спортивний стіл

lПоворотний стіл

lОрганізація вирівнювання зразків,Ручні

lМеханізм фокусування, ручна

lСтудія3один (f50mm、?75mm、?100mm）

lМаска4один (2.5дюймів,3дюймів,4дюймів,5дюймів)

lМаска витяг верхньо-вниз механізм

（3(Мікроскоп орієнтування)

lДжерело світла (аксесуари)2Тільки) енергія

lМікроскоп двозорого поля вирівняння суб'єкта

lОкуляри3Так (10вдвічі,16вдвічі,20в рази, всього6один)

lоб'єкт3Так (4вдвічі,10вдвічі,20в рази, всього6один)

lCCD(Тайвань)

l21Дюймовий рідкокристалічний дисплей

（4Система електронного управління

lЛімпа ртуті запускає живлення(200WЛімпа ртуті постійного струму)

lСистема управління

lКорпус управління

（5пневматичні системи

lЦіліндри, електромагнітні клапани, клапани зниження тиску, пневматичні вимикачі тощо

lПривод електромагнітного клапана

lПневматичні прилади

（6Інші додатки

lВакуумний насос 1

lтрубопроводів

（7Технічна інформація

lІнструкція з використання ремонту

lІнструкція по використанню мікроскопа