Силан є важливим новим матеріалом продукту, широко використовується в ЖК-дисплеях, напівпровідників, сонячної енергії та інших галузях промисловості, з розвитком китайських напівпровідників та інших галузей промисловості, вітчизняний попит на сілан зростає, але оскільки вітчизняні технології виробництва сілану знаходяться на початковому етапі, як аналізувати чистоту сілану є темою, з якою повинні зіткнутися різні виробники.
Відомо, що аналіз високочистих газів є складним процесом і є однією з складностей хроматографічного аналізу; Силан через особливість його фізичних властивостей, його аналіз може бути складнішим, не тільки вимагає високочутливого детектора, але і вирішує проблему спалювання кисню.GC-9560-HG Гелійонізований газовий хроматометрПеремогти численні технічні труднощі в процесі аналізу сілану, використовуючи високочутливий детектор іонізації гелію, оснащений спеціальною системою відбору зразків сілану, добре завершив аналіз слідів забруднень ppb в сілані.

Застосовувані стандарти:

• GB/T 15909-2009 Силани для електронної промисловості

GC-9560-HG Силанний аналіз гелійонізованого газового хромометраПридатний для виявлення слідів забруднень у високочистих газах та електронних промислових газах, невелика концентрація виявлення zui може досягти 5 ppb. Інструмент оснащений високочутливим детектором іонізації гелію, використовуючи технологію центрального різання компанії Huaei *, оснащений імпортними клапанами з захисними повітряними шляхами; Вся машина використовує багатоколопну конструкцію, різні хроматографічні колонки можуть контролювати температуру окремо, zui максимально оптимізує умови сепарації, і зручно для різних хроматографічних колонок для окремої обробки старіння, зручне обслуговування інструменту; Інструмент оснащений системою автоматичної корекції тиску, щоб подолати аналітичні помилки, викликані різними субстанційними газами через різну молекулярну вагу.

Один,GC-9560-HG Силанний аналіз гелійонізованого газового хромометраПереваги продуктивності:
Газова промисловість є основою національної економіки, є "кров" промислового виробництва, і з швидким розвитком національної економіки попит на гази з високою чистотою та електронною промисловістю також швидко зростає. Виявлення слідів забруднень є ключовим елементом виробництва високочистого газу та електронного промислового газу, а аналіз слідів забруднень завжди був складним для хроматографічного аналізу, традиційні хроматографічні детектори, такі як теплопровідність, не можуть бути компетентними в аналізі високочистого газу.
Детектор іонізації гелію з імпульсним розрядом (PDHID) - це універсальний детектор з надзвичайно високою чутливістю, високою реакцією на майже всі неорганічні та органічні сполуки, особливо підходить для аналізу високочистих газів і здатний виявити до рівня ng / g (ppb). Ново розроблений національний стандарт передбачає, що використання детектора іонізації гелію замінює оригінальні детектори, такі як теплопровідність, і національний стандарт "Газовий аналіз гелію іонізованої газової хроматографії", який бере на себе основне завдання розробки, також розробляється, і незабаром буде офіційно оголошено.

PDHID обмеження виявлення газових забруднень у сілані (ppb)

Другий,GC-9560-HGКонфігурація системи:

(1) GC-9560-HG Гелійонізований газовий хромометр (2) Детектор іонізації гелію (PDHID)

(3) Центральна система різання (4) Електронна система відбору зразків газу

(5) Системи абсорбції та редукції кисню (6) Очищення гелію

(7) спеціальний клапан для зниження тиску для перевезення газу (8) спеціальний клапан для відбору зразків без мертвих обсягів
(9)Газові фільтри (10)Фільтри зразків

(11)Хроматографічні колонки (12)Стандартні гази
(13) Висока чистота гелію (чистота > 99,999%) (14) GC-9560V4.0 версія контрконтрольованої хроматографії роботи

• Центральна технологія різання для повного аналізу газу:
  Гелій-іонізований газовий хроматометр GC-9560-HG використовує технологію центрального різання та противдуху з багатоманітними клапанами. Система складається з декількох 10-канальних клапанів для здуху та багатоманітних хроматометрів, які автоматично контролюють процеси введення зразків, перемикання, різання та противдуху за допомогою встановленої на робочій станції програми часу.

• Десятилітний клапан
  GC-9560-HGВсі оснащені оригінальним імпортним виробництвом VICI з захищеними повітряними шляхами десятипроводними клапанами, площина клапана завжди знаходиться в атмосфері, щоб уникнути проникнення повітря в зразок під час введення та перемикання, значно підвищуючи чутливість та точність виявлення.
• Спеціально оброблені хромографічні колонки
  (1) хроматографічні колони труби використовують матеріал з нержавіючої сталі 316L, і внутрішні стіни труби проходять пасивну обробку, щоб запобігти появі проблем з адсорбцією та відтягненням вуглекислого газу
  (2) Носителі хроматографічних колон проходять спеціальну обробку, щоб уникнути проблем з адсорбцією кисню
  (3) Попередні розрізані колонки використовують хроматографію Huaei, щоб отримати національну технологію мікроколонки наповнення, повністю поліпшити сепарацію зразка, враховуючи сепарацію, стабільність та швидкість

• Система розділу декількох колонн
  Збірки газу мають різноманітні форми, а різноманітні забруднення вимагають різних хроматографічних колонок, щоб завершити сепарацію всіх забруднень у зразку газу. Оскільки оптимальні робочі температури для різних хроматографічних колонок відрізняються, важко знайти оптимальну робочу температуру для роботи різних хроматографічних колонок одночасно в одній колонні. GC-9560-HG використовує конструкцію з декількома колоннами, щоб ефективно вирішити проблему різних хроматографічних колонн, які вимагають різних робочих температур.
  При щоденному обслуговуванні інструменту, оскільки температура активації хроматографічних колонок різних носіїв, таких як молекулярне сито 5А, варіюється, якщо старіння в тій же колонні вимагає зняти хроматографічні колони, які не витримують високу температуру, а потім активувати їх окремо. Конструкція багатоколонного корпусу GC-9560-HG ефективно вирішує вищезгадані проблеми, різні хроматографічні колонки можуть бути активовані окремо в різних колонках, уникаючи проблем, що вимагають демонтажу хроматографічних колонок під час повсякденного обслуговування інструментів.
• Очищення гелію HP-2:
  GC-9560-HGВикористовуючи високочистий гелій як носій газу, чистота гелію безпосередньо впливає на чутливість виявлення забруднень всього інструменту. Випробування показали, що чистота транспортного газу, використовуваного для аналізу високочистого газу, принаймні на один рівень вища, ніж основна чистота зразка газу.
  Очищувач гелію типу HP-2 є спеціальним очищувачем газу, виробленим компанією VICI, чия очищувальна матерія є нелітким адсорбційним сплавом. Поверхня частинок адсорбції має шар оксидної мембрани, яка повинна бути активована за допомогою нагрівання. Процес активації повинен бути завершений у вакуумі або в середовищі інертного газу, що дозволяє гелію вільно розповсюджуватися між ними, запобігаючи утворенню шару очищення кисню, а також може бути адсорбція Адсорбентні матеріали HP мають хорошу теплову стабільність, включаючи два діапазони контролю температури.
  Очищувальні гази: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  Високий робочий тиск: 1000psi
  Видалення газу: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Зачекайте
  Концентрація: ≤10ppb
• Система корекції тиску
  Традиційні хроматографи використовують метод контролю потоку на виході клапана, щоб контролювати обсяг проби в кількісній трубі, випробування показало, що цей метод має велику аналітичну помилку.
  Наприклад, аналіз високочистого водню: стандартний газ - це шість забруднень, конфігураційних у гелії, а зразок - шість забруднень у водні; Оскільки молекулярна маса гелію та водню відрізняється, це призводить до ситуації, коли кількість проб при одному потоку не *
  GC-9560-HGОбладнана системою корекції тиску, щоб подолати проблему з кількістю проб, викликану різницею підлогового газу, щоб забезпечити точність даних.
• Безмертвий клапан для відбору зразків
  GC-9560-HG оснащений спеціальним клапаном для відбору зразків без мертвих об'ємів, який використовує метод відбору зразків з захистом від вимиття, щоб ефективно уникнути проблем з залишками повітря та зменшити вплив процесу відбору зразків на аналіз до низького рівня.
• Клапани для зниження тиску
  Звичайний клапан зниження тиску через наявність великої кількості мертвих об'ємів безпосередньо впливає на чистоту газу після виходу клапана зниження тиску, що призводить до високої концентрації забруднень в основі газу, що впливає на межі виявлення всієї системи.
  Гелій-іонізований газовий хроматометр GC-9560-HG оснащений повністю нержавіючою сталлю з двоступенєвою функцією регулювання тиску, що значно підвищує стабільність тиску, забезпечує стабільність базової лінії, а також зменшує мертвий обсяг в організмі клапана та подальше підвищує чутливість виявлення.

GC-9560-HGАналіз діаграми: