• Висока точність ± 1,0% точки налаштування
  Лінейність цього контролера масового потоку компенсується багатономною кривою приблизення і досягає високої точності в діапазоні контролю потоку. Щоб підвищити точність дійсного газу, калібрування різних процесних газів вимірюється стандартною системою вимірювання газів компанії HORIBA STEC.
• Висока швидкість реагування
  Комплектована система змінного PID забезпечує 1 секунду відповіді між будь-якими двома точками налаштування. Змінний PID постійно змінюється залежно від налаштувань точок потоку. Оптимізація коефіцієнтів PID при повних змінах потоку та газу.
• Рішення для багатогазових/багатомасштабних
  Програмне забезпечення для налаштування дозволяє швидко і зручно змінювати специфікації. Важливою особливістю є те, що зміни можуть бути зроблені без необхідності зняти контролер масового потоку з панелі управління газом або трубопроводу. Зменшує кількість необхідних резервних контролерів масового потоку, економлячи час і витрати.

Контролер масового потоку SEC-Z500X підходить для різних застосувань та виробництва напівпровідників.