Член VIP
Випусковий сканувальний електронний мікроскоп з ультрависокою роздільною здатністю Regulus
Існуючі моделі SU8240, SU8230, SU8220 і SU8010 були переінтегровані в Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 і Regulus 8100. Серія Regulus успадкува
Подробиці про продукт
Випусковий сканувальний електронний мікроскоп з ультрависокою роздільною здатністю Regulus
Існуючі моделі SU8240, SU8230, SU8220 і SU8010 були переінтегровані в Regulus 8240, Regulus 8230, Regulus 8220 і Regulus 8100.
"Серія Regulus" успадкувала спостереження та аналітичні характеристики існуючих моделей, оснащені електронними пістолетами холодного поля з низьким рівнем шуму серії SU8200*1Можна отримати високий стабільний поток.
За допомогою оптимізації електронної оптичної системи роздільна здатність Regulus 8240/8230/8220 підвищується до 0,7 нм при умовах 1 кВ, а роздільна здатність Regulus 8100 до 0,8 нм.
Крім того, для повного використання надзвичайно високої роздільної здатності збільшення збільшилося з мільйона до двох мільйонів разів.*1І.
Regulus 8240/8230/8220/8100 також доповнює функцію підтримки користувача, яка полегшує розуміння принципів виявлення різних складних сигналів і допомагає користувачам максимально використовувати продуктивність інструменту.
- *1
- Тільки для Regulus 8240/8230/8220
-
Особливості
-
специфікації
Особливості
- Електронна пістолета з холодним полем серії SU8200*2
- Використання стабільної області високої яскравості пучка електронів, що з'являється після блискування, як інтервалу стабільного спостереження, що дозволяє оптимальну продуктивність спостереження та аналізу з високою роздільною здатністю в умовах низької напруги прискорення
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV) - Використання невеликого забруднення, високовакуумного складу зразків
- Використовуючи енергетичний фільтр (опційно), можна спостерігати за контрастом різних компонентів*2
Висока роздільна здатність спостереження при надзвичайно низькому приземному напругі
Збірки: Золоті частинки
Приземлювальна напруга: 10 В
Надзвища роздільна здатність спостереження
Збірка: Pt каталізатор
Прискорення напруги: 30 кВ
Аналіз EDX високої роздільної здатності при низькому прискоренні напруги
Приклад: Sn кулі
Приземлювальна напруга: 1,5 кВ
- *2
- Тільки для Regulus 8240/8230/8220
специфікації
| Проект | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Друга електронна роздільна здатність | 0.7 nm (напруга прискорення 15 кВ) 0.8 nm (напруга посадки 1 кВ)*3 |
0,6 нм (напруга прискорення 15 кВ) 0,7 нм (напруга приземлення 1 кВ)*3 |
|||||
| Приземлювальна напруга | 0.1～2 kV | 0.01～20 kV | |||||
| Збільшити | 20-1 000 000 разів*4 | 20-2 000 000 разів*4 | |||||
| Збірковий стіл | Управління зразками | 3-вісна двигунна установка (опційна 5-вісна двигунна установка) | 5-осний привід двигуна | ||||
| Переміщення діапазону | X | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～110 mm | ||
| Y | 0～50 mm | 0～50 mm | 0～110 mm | 0～80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5～70° | ||||||
| Z | 1.5～30 mm | 1.5～40 mm | |||||
| Відтворювальність | - | - | - | ±0,5 мкм до ±0,5 мкм | |||
- *3
- Спостереження в режимі сповільнення
- *4
- Збільшення на основі 127 мм × 95 мм
Пов'язані категорії продуктів
- Система фокусування іонного пучка (FIB/FIB-SEM)
- Прилад для передобробки зразків TEM/SEM
Інтернет-дослідження
-
Контакти
-
Компанія
-
Телефон
-
Електронна пошта
-
WeChat
-
Код перевірки
-
Вміст повідомлення
-