Атомний мікроскоп Park Systems XE-15

Інструмент:

Park XE-15 має повну сумісність з зразками. Його різноманітна конструкція стілів для проб забезпечує зручне та надійне середовище для тестування різних розмірів, форм та кількостей зразків. Відключений закритим циклом XY сканер усунув помилки ефекту вигинуття, забезпечуючи лінійність. Справжній безконтактний режим сканування розширює різноманітність, яка підходить для зразків, значно продовжуючи термін служби зонду і знижуючи витрати на використання.

Технічні параметри атомного мікроскопа Park Systems XE-15:

Сканер

XY сканер

Гнучке керування замкнутим циклом управління одномодульним сканером

Диапазон сканування 100 мкм * 100 мкм (необхідно 50 мкм * 50 мкм)

Переміщення площини: <2 нм (сканування 40 мкм * 40 мкм)

Z-сканер

Гнучкий керований потужний сканер

Диапазон сканування 12 мкм (необхідно 25 мкм)

Частота резонансу: > 5 кГц

Шум поверхневого зображення: 0,03 нм

Збірковий стіл

Тип зразка стіл: 16-розмірний зразка стіл / 150 мм діаметром вакуумної адсорбції стіл (необхідний 200 мм діаметром вакуумної адсорбції стіл)

Розмір зразка: 150 мм * 150 мм * 20 мм

Вага зразка: зуі 500g

Діапазон переміщення зразка: 150 мм * 150 мм (необхідно 200 мм * 200 мм)

Основні особливості:

1. Інноваційний дизайн багатополочного візерного столу для забезпечення продуктивності роботи

● За одну операцію можна сканувати більше 16 зразків

Просте встановлення зразка, швидке сканування

Значно підвищується точність та повторюваність даних

Підтримка надвеликих зразків для задоволення потреб розвитку промисловості

● зуі підтримує 200 мм пластинки, щоб задовольнити поточні та майбутні потреби користувачів

Спеціальна конструкція для задоволення реальних потреб користувачів, пов'язаних з напівпровідниками

Розширений вибір функціональних режимів

Підтримка різних функцій SPM

• Підтримка різних варіантів вимірювання

● Підтримка різних додаткових аксесуарів, розширення кращої продуктивності