Датчики тиску серії сафіру складаються з монокристалічних ізоляторних елементів сафіру, жорсткість не виникає затримки, втоми та деформації; Сапфір має дуже хороші еластичні та ізоляційні властивості (до 1000 ° C), не чутливий до змін температури, навіть в умовах високих температур, має хороші робочі властивості. надзвичайно сильні радіаційні властивості сафіру; Кремній-сафірний датчик використовує технологію розширення кремнію, щоб виростити шар кремнієвої плівки на сафірної плівці, а потім використовує процес літографії для створення кремнієвого мосту, використовуючи процес важкого допінгу для створення опору напруги. Кремнієві мости, що ростуть на сафірі, не мають p-N-узгоджень, тому вони не чутливі до випромінювання, а також можуть створювати більш високі термометричні продукти без впливу верхніх меж температури зв'язку. Процес важкого допінгу може зменшити забруднення кремнієвого мосту в два рази при високих температурах. Таким чином, сафір може бути використаний в різних складних умовах роботи та екологічних умовах. Датчик має двомембранну структуру, що складається з мембранної структури: продукт двомембранної структури складається з вимірювальної мембрани з титанового сплаву та приймальної мембрани. Прийомна мембрана - це сафірова мембрана, розплавлена при високій температурі на мембрані з титанового сплаву, з'єднана між вимірювальною мембраною та приймальною мембраною за допомогою металевого жорсткого з'єднання, з'єднаного з плавленим зварюванням або лазерним зварюванням. Вимірений тиск передається на приймаючу мембрану. Під впливом тиску, мільйона прийому титанового сплаву створює трансформацію, яка сприймається кремнієво-сафірним чутливим елементом, вихід моста змінюється, масштаб зміни пропорційний виміряному тиску. Мост перетворює сигнал дисбалансу моста на вихідний сигнал напруги.

Широкий діапазон вимірювання температури

• Невелика температурна помилка

Висока точність, висока стабільність

◆ Легка вага, висока економічність