Алгоритми управління забезпечують стабільне управління розбігом за допомогою контролю співвідношення потоку, використовуючи технологію оптимізації управління HORIBA STEC для управління тиском FS-3000. Крім того, навіть якщо співвідношення розподілу змінюється, алгоритми управління можуть забезпечити високу швидкість реагування на розподіл.

• Підвищення масштабованості та продуктивності обслуговування. FS-3000 може розділяти до 15 каналів за допомогою високошвидкої обробки сигналів. Якщо відбувається збой MFC, необхідно лише замінити його.

• Специфікації, необхідні для гнучкої реакції FS-3000 підтримує різноманітні гази, включаючи суміші газів. Крім того, FS-3000 підтримує користувацькі інтерфейси RS-485 і DeviceNet.