Масовий спектрометр контролю процесу Atonarp Aston ™-Global supplier

К?мната 702, 7 поверх, буд?вля 36, 1888, вулиця Xinjinqiao, новий район Пудун, Шанхай, 201206

Масовий спектрометр контролю процесу Atonarp Aston ™ Технічні характеристики:

Універсальний інструмент для управління процесами в режимі реального часу, корозійний газостійкий, протиконденсаційний
Платформа молекулярного аналізу in situ для виробництва напівпровідників, що забезпечує реалізовані дані в режимі реального часу
Використовуючи джерело іонізації плазми, без дроту, більш міцний
Повністю інтегрується з інструментами масового виробництва
Aston ™ Аналізатор масового спектру процесуБудучи потужною платформою, вона може замінити багато традиційних інструментів, що забезпечує безпрецедентний рівень контролю, включаючи літографію, електричну та провідну травлення та осадки, очищення камери, відповідальність камери та розтворення.

Aston ™ Аналізатор масового спектру процесуТехнічні параметри

Тип	Impact-300	Impact-300DP	Plasma-200	Plasma-200DP	Plasma-300	Plasma-300DP
Модель	AST3007	AST3006	AST3005	AST3004	AST3003	AST3002
Якість сепарації	Чотири ступені
Вакуумна система	Молекулярний насос	Молекулярний насос Мембранні насоси	Молекулярний насос	Молекулярний насос Мембранні насоси	Молекулярний насос	Молекулярний насос Мембранні насоси
Детектор	FC /SEM
Диапазон якості	2-285		2-220		2-285
Розвільна здатність	0.8±0.2
Обмеження виявлення	0.1 PPM
Робоча температура	15-35“℃
потужність	350 W
вага	15 kg
Розміри	299 x 218 x 331 LxWxH(mm)		400 x 240 x 325 LxWxH(mm)

Atonarp Aston™ Застосування: значні розробки в управлінні та оптимізації напівпровідникових процесів для підвищення продуктивності, пропускної здатності та ефективності виробничих процесів напівпровідників
Aston ™ Компактний онлайн-масовий спектрометр з новою конструкцією та міцністю для моніторингу та управління газами у виробництві напівпровідників та застосуваннях управління промисловими процесами, що поєднує високу кількісну точність та реальний час з міцністю та надійністю виробництва, наприклад, аналіз виявлення вихлопних газів з напівпровідниковими сухими насосами, можливість онлайн-моніторингу та діагностики.
CVD / ALD: перехід оксид-азот та аналіз складу
Etch/ALE End Point :<0.3%
Chamber Matching: розпізнавання слідуючих молекул
Aston™ 半导体在线质谱仪应用

Якщо вам потрібно дізнатися більшеAtonarp Aston ™ Онлайн масовий спектрометрДля отримання додаткової інформації або обговорення, будь ласка, зверніться до наступних контактних даних:
Шанхай Бедун: міс Є Тайвань Бедун: міс Ван
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
М: +86 1391-883-7267 ( WeChat 同号 ) М: +886-939-653-958

В даний час деякі бренди наймають співробітників агентів, зацікавлені вітають, щоб зв'язатися з міс Шанхай Бетун Йе 1391-883-7267
Шанхай Бедонг Всі права захищені!