Особливості 8-дюймової системи перевірки пластинки Olympus

● Широкий діапазон адаптації, гнучка комбінація, 8-дюймова система перевірки пластинки Olympus має високу практичність та надійність.

● 8-дюймова система перевірки пластинки Olympus передає кремнієві пластинки різних розмірів

Залежно від розмірів кремнієвих пластин, система перевірки пластин серії AL120 має три основні моделі: один розмір 200 мм (AL120-L8), сумісний з 150 мм і 200 мм (AL120-L86), один розмір 150 мм або менше (AL120-L6). Кожен з них розроблений для передачі кремнієвих пластин, які вже були перевірені мікроскопічно. Попередній макро і задній макро перевірки можуть бути застосовані з різними розмірами кремнієвих пластин.

● 8-дюймова система перевірки пластинки Olympus може передавати надтонкі кремнієві пластинки, тобто тонкі до 90um

Для вирішення більш складних надтонких кремнієвих пластин, система перевірки пластин Olympus спеціально розроблена для передачі рук, які можуть працювати з коробкою 200 мм з 25 пластин і кремнієвими пластинами тонкими до 90 м, а також для безпечної передачі та мікроскопічного перевірення. До 10 різних товщин інформації про кремнієві пластини можна встановити за допомогою панелі.

● Можливість точності для покращення функцій макроінспекції

Нова машина з функцією макроінспекції (тип LMB) автоматично обертається на 360 градусів, щоб завершити макроінспекцію кожної сторони кремнію. Ця конструкція дозволяє зручно виявити дефекти та частинки на позитивній та протилежній стороні кремнієвої плитки. Крім того, кремнієві пластини можуть бути нахилені на 30 градусів за допомогою трейкера для макроінспекції.

● ЖК-дисплей забезпечує точність та зручність роботи

ЖК-дисплей надає оператору більш інтуїтивно зрозуміле відчуття, що дозволяє системі перевірки пластин Olympus чітко визначити елементи та порядок перевірки, а також параметри, необхідні для встановлення та відладки. Результати перевірки, включаючи макро- та мікрознаки дефектів, введені оператором, можуть бути відображені на ЖК-дисплеї для зручного огляду оператором.

• Точна надійність

Щоб забезпечити безпеку кремнієвих пластин, система перевірки пластин серії AL120 використовує два нові методи виявлення кремнієвих пластин: товщину кремнієвих пластин та місце в коробці. Перед передачею сканувати місце кремнію в коробці. Опціональна функція автоматичного блокування носія підвищує безпеку передачі кремнієвих пластин на вакуумний носій.

Моцний і надійний мікроскоп

Напівпровідниковий інспекційний мікроскоп Olympus MX61 здатний відображати зображення високої чіткості та високої роздільної здатності за допомогою різних способів спостереження: яскравого, темного, диференційного, інфрачервоного та глибокого ультрафіолетового поля. Обладнаний електричним обертовим диском об'єкта, з мікроскопом господаря з функцією зв'язку, кожного перемикання об'єкта, апертура світла також автоматично змінюється.

Відповідність стандартам SEMI S2/S8 і RoHS

Система перевірки пластин серії AL120 розроблена не тільки з увагою до безпеки кремнієвих пластин під час передачі, але й для забезпечення безпеки оператора, повністю відповідаючи стандартам SEMI S2 та S8, а також стандартам Rohs.

Технічні характеристики 8-дюймової системи перевірки пластинки Olympus